用測量顯微鏡測出被測要素上各點(diǎn)相對鋼絲的偏離量，從而得到被測實(shí)際直線，進(jìn)而評定被測要素的直線度誤差。

   用鋼絲法測導(dǎo)軌直線度誤差的一個(gè)方案。哈默納科雙頻激光諧波CSF-25-80-2UH測量時(shí)，調(diào)整鋼絲的兩端，使測量顯微鏡移到兩端點(diǎn)時(shí)的讀數(shù)相等。然后，在被測導(dǎo)軌的全長上等距移動(dòng)測量顯微鏡，并記錄下各位置上的讀數(shù)，這一系列讀數(shù)值描述出導(dǎo)軌由形面構(gòu)成的實(shí)際直線，進(jìn)而可按要求評定該實(shí)際直線的直線度誤差。

C3>雙頻激光干涉儀測量用雙頻激光哈默納科雙頻激光諧波CSF-25-80-2UH干涉儀輔之以測量直線度的光學(xué)組件可以測某測量線上的被測實(shí)際直線，則按一定的布線方式亦可測出被測平面上各測點(diǎn)的坐標(biāo)值;此外，用雙頻激光干涉儀輔之以測量角度的光學(xué)組件來測量角度的原理，可測出被測表面兩測點(diǎn)間高度差引起的角度變化，從而計(jì)算出兩點(diǎn)間的高度差。因此，也可像自準(zhǔn)直儀一樣，通過一定的布點(diǎn)方式及測得值的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換得到被測實(shí)際平面各測點(diǎn)的坐標(biāo)值。

   雙頻激光干涉儀測量平面度比水平儀和自準(zhǔn)直儀測量直線度的精度更高，若與計(jì)算機(jī)聯(lián)接

通過一定的布點(diǎn)方式及測得值的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換得到被測實(shí)際平面各測點(diǎn)的坐標(biāo)值。

   雙頻激光干涉儀測量平面度比水平儀和自準(zhǔn)直儀測量直線度的精度更高，若與計(jì)算機(jī)聯(lián)接